Rijksuniversiteit Groningen en ASML tekenen contract voor strategische samenwerking
Veldhoven, 5 december 2025 – Vandaag ondertekenden de Rijksuniversiteit Groningen (RUG) en ASML een belangrijke raamwerkovereenkomst voor intensievere onderzoekssamenwerking. Deze stap bouwt voort op bestaande contacten en opent de deur voor nieuwe projecten op gebieden als geavanceerde materialen, stromingsprocessen en geavanceerde regeltechniek, die van belang zijn bij de ontwikkeling van toekomstige technologieën voor de vervaardiging van computerchips.
De ondertekening vond plaats tijdens een bijeenkomst bij ASML in Veldhoven. Het programma omvatte presentaties van Joost Frenken (decaan Faculty of Science and Engineering, RUG) en Maarten Voncken (Head of Research Metrology ASML), gevolgd door de officiële ondertekening van de overeenkomst door Jouke de Vries (Voorzitter College van Bestuur RUG) en Richard Kemkers (Head of Research ASML).
Achtergrond van de samenwerking
De samenwerking tussen ASML en de RUG, met name de Faculty Science & Engineering (FSE), bouwt voort op een jarenlange voorgeschiedenis, mede geïnitieerd door Ronnie Hoekstra, die vanuit de RUG al vanaf 2014 actief is binnen het Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL). In juni 2023 organiseerden beide partijen een ‘ASML Day’ in Groningen om studenten bekend te maken met de semiconductorindustrie, de industrie die halfgeleiders gebruikt om daarvan computerchips te maken. Tegelijkertijd vonden diepgaande verkenningen plaats van mogelijkheden voor intensieve samenwerking van onderzoekers en experts van ASML en FSE op het gebied van onderzoek en ontwikkeling.
Collegevoorzitter Jouke de Vries reageert enthousiast: 'De RUG-ASML raamovereenkomst versterkt onze langjarige samenwerking met ASML en legt een solide basis voor toekomstige innovatie. Dit maakt sneller nieuwe projecten mogelijk op een veelheid van onderzoeksthema’s, waarbij Groningen bijzondere kennis inbrengt, zoals die van het CogniGron-programma, en state-of-the-art AI-infrastructuur. Tevens benadrukt de overeenkomst ASML's strategische betrokkenheid bij de RUG als technische universiteit.'
Onderzoeksprojecten
De samenwerking die al jarenlang loopt met ASML via het NWO-instituut ARCNL, waarbij onder meer de Zernike-LEIF ionenbundelfaciliteit van de RUG wordt ingezet, heeft belangrijke kennis opgeleverd in het kader van de zogenaamde EUV (extreme ultraviolet) lithografietechnologie van ASML voor de vervaardiging van de meest complexe computerchips. Onlangs is deze samenwerking verder geïntensiveerd met een nieuw traject rond de volgende generatie belichtingstechnologie voor chips, waarbij met licht van een kortere golflengte nog fijnere patronen op chips kunnen worden aangebracht.
Daarnaast wordt ook op andere terreinen nauw samengewerkt en zijn er nieuwe gezamenlijke onderzoeksprojecten gestart op het gebied van nieuwe materialen, vloeistof- en stromingsprocessen, speciale coatings en geavanceerde regeltechniek. Deze onderzoek levert cruciale inzichten op die een rol spelen bij de ontwikkeling van toekomstige ASML-machines en die daarmee van belang zijn voor toekomstige generaties microchips.
Head of Research Richard Kemkers is positief: 'We zijn verheugd om samen met de Rijksuniversiteit Groningen dit raamwerk te ondertekenen. Deze overeenkomst legt een solide basis voor toekomstige gezamenlijke projecten en versnelt de start van nieuwe initiatieven. We kijken uit naar een vruchtbare samenwerking die innovatie en kennisdeling verder zal versterken.'
Samenwerking en talentontwikkeling
Deze nieuwe raamwerkovereenkomst richt zich volledig op onderzoek. Daarnaast speelt ook talentontwikkeling een belangrijke rol binnen het ecosysteem van de Nederlandse semiconductorindustrie. Samen met de andere kennisinstellingen in het Noorden en met partijen rond de Universiteit Twente, de Technische Universiteit Eindhoven en de Technische Universiteit Delft, participeert de RUG in het Beethoven-programma dat erop gericht is om substantieel meer talenten via bèta- en techniekopleidingen voor te bereiden op een carrière in deze bijzondere, Nederlandse hightech industrie.